The Verios 5 XHR SEM features an ultra-high-brightness electron source with next-generation UC+ monochromator technology to reduce the beam energy spread below 0.2 eV for beam currents up to 100 pA. This enables sub-nanometer resolution and highest surface sensitivity at low landing energies. The innovative Thermo Scientific Elstar™ Electron Column provides the foundation of the system’s unprecedented high resolution imaging capability. It offers the best nanoscale details, using the widest range of working conditions, whether operating at 30 keV in STEM mode to access structural information or at lower energies to obtain charge-free, detailed information from the surface. With its immersion mode and unique triple detection system located inside the column, the system is designed for simultaneous detector acquisition for angular and energy selective SE and BSE imaging.
Fast access to the most detailed nanoscale information is guaranteed, not only top-down, but also on tilted specimens or cross sections.Additional below-the lens detectors and the electron beam deceleration mode ensure the fast and easy simultaneous collection of all signals to reveal the smallest features in material surfaces or cross sections. Fast, accurate and reproducible results are obtained thanks to the unique design of the Elstar Column, which includes constant power lenses for higher thermal stability and electrostatic scanning for higher deflection linearity and speed.

본 장비는 시료를 실린지펌프를 통해 직접 주입하거나 GC/HPLC를 사용하여 시료를 소스에 주입하고, 전기적 에너지에 의해 이온화된 물질의 질량을 질량분석관과 검출기를 통해 질량 대전 하의 비(mass-to-charge ratio (m/z)로 측정하는 장치입니다. 현재 가장 널리 사용되고 있는 질량분석 방식인 Quadrupoles와 TOF를 병렬로 접합한 고분해능 최신 질량분석기이며, 이는 기존에 사용해 왔던 Quadrupoles에비하여 혼합물에 존재하는 특정 물질의 선택(Selectivity/Filtering) 기능이 우수하고 불활성가스와 충돌(CID)시켜 생성되는 절편(fragment)들의 분자량 측정을 통하여 정확한 구조를 분석할 수 있다. 특히 GC-APCI는 다환방향족화합물(PAHs), 농약류(Pesticides), 화약류(TNTs) 등의 다양한 환경오염물질과 천연물, 대사체 등을 분석할 수 있습니다. 액체크로마토그래피(HPLC) 또는 가스크로마토그래피(GC)와 함께 고분해능 질량분석기를 연결하여 분석을 함으로써, 복잡한 혼합물에서 특정분자량을 갖는 물질 선택이 우수하고, 선택된 분자를 질소가스와충돌시켜 깨어진 조각의 정확한 분자량을 측정하여 이들의 구조를 유추하고 데이터베이스를 통한 미지물질 분석과 정량분석에도 사용 할 수 있습니다.

- X선이 물질에 조사되면 물질을 구성하고 있는 원자(전자)들에 의해 산란 발생
- 이때 시편이 결정성을 가질 경우, 산란된 X선은 브래그 법칙에 의한 간섭현상이 발생하며, 이를 측정하여 물질의 원자 배열 구조를 해석할 수 있는 장비임